Hiraiwa Atsushi について
Institute of Materials and Systems for Sustainability (Tokyo Branch), Nagoya University, Bldg. 120-5 (Waseda University), 513 Waseda-tsurumaki, Shinjuku, Tokyo 162-0041, Japan について
Matsumura Daisuke について
Faculty of Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan について
Okubo Satoshi について
Faculty of Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan について
Kawarada Hiroshi について
Research Organization for Nano and Life Innovation, Waseda University, 513 Waseda-tsurumaki, Shinjuku, Tokyo 162-0041, Japan について
Journal of Applied Physics について
水 について
酸化剤 について
化学蒸着 について
アルミナ について
薄膜 について
電気伝導 について
電流 について
蒸着 について
焼なまし について
半導体素子 について
ゲート絶縁膜 について
漏れ電流 について
低温 について
高温 について
密度 について
誘電率 について
不純物 について
アルキル基 について
脱着 について
加工速度 について
ケイ素 について
空間電荷 について
電界放出 について
双極子 について
負電荷 について
エッチング速度 について
ポストアニーリング について
メチル基 について
界面双極子 について
原子層蒸着 について
質量密度 について
正電荷 について
その他の無機化合物の電気伝導 について
熱処理技術 について
H2O について
酸化剤 について
原子層蒸着 について
Al2O3 について
伝導 について
蒸着 について
焼なまし について