文献

J-GLOBAL ID：201702258079005992   整理番号：17A0381379

低電力と高速始動応用のためのキャッチアンドリリース機構により可能になった間欠的自由振動MEMSジャイロスコープ【Powered by NICT】

An intermittent free-vibration MEMS gyroscope enabled by catch-and-release mechanism for low-power and fast-startup applications

著者 (9件)： Gando Ryunosuke (Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan) ,  Kubo Haruka (Corporate Manufacturing Engineering Center, Toshiba Corporation, Japan) ,  Tomizawa Yasushi (Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan) ,  Ogawa Etsuji (Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan) ,  Maeda Shunta (Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan) ,  Masunishi Kei (Corporate Manufacturing Engineering Center, Toshiba Corporation, Japan) ,  Hatakeyama Yohei (Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan) ,  Itakura Tetsuro (Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan) ,  Ikehashi Tamio (Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 29-32  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 「キャッチアンドリリース(CR)」駆動機構により可能となった最初の間欠的自由振動MEMSジャイロスコープ,既存の固定ジャイロスコープに比べてかなりの電力削減と速いスタートアップを実現することを示した。このアーキテクチャでは,プルーフマスは最大変位位置(漁獲状態)で捕捉され,その後にCoriolis検出を行った自由振動に放出される(放出状態)72000の高品質因子(Q)のおかげで,放出された量は減衰前再捕獲することができた。CR機構は瞬間始動と低消費電力を可能にした。プロトタイプCRジャイロスコープ(CR G)の機能性と感度(21.2 μV/dps)を実験により確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *自由振動 ,  *電力 ,  捕獲 ,  計算機アーキテクチャ ,  *高速度 ,  プロトタイプ ,  駆動機構 ,  漁獲 ,  *ジャイロスコープ
準シソーラス用語： 機能性 ,  品質因子 ,  *MEMSジャイロスコープ ,  *キャッチアンドリリース ,  *低電力化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 計算機システム開発  (JD02010R) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 低電力 ,  始動 ,  応用 ,  キャッチアンドリリース ,  間欠 ,  自由振動 ,  MEMSジャイロスコープ