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J-GLOBAL ID：201702258431199991   整理番号：17A0444956

フラーレン分子のスピンコーティング駆動自己集合に及ぼす銅の表面処理の効果【Powered by NICT】

Effect of surface preparation of copper on spin-coating driven self- assembly of fullerene molecules

著者 (5件)： Ma Dongni (Department of Chemical and Environmental Engineering, The University of Arizona, Tucson, AZ 85721, United States) ,  Sandoval Selene (Department of Materials Science and Engineering, The University of Arizona, Tucson, AZ 85721, United States) ,  Muralidharan Krishna (Department of Materials Science and Engineering, The University of Arizona, Tucson, AZ 85721, United States) ,  Raghavan Srini (Department of Chemical and Environmental Engineering, The University of Arizona, Tucson, AZ 85721, United States) ,  Raghavan Srini (Department of Materials Science and Engineering, The University of Arizona, Tucson, AZ 85721, United States)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 170  ページ： 8-15  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,銅ベース基板上にC_60フラーレンのスピンコーティング駆動自己集合を調べた。特に,調査した基材は化学的および熱的に前処理した銅,電解研磨した銅とグラフェン被覆した銅を含んでいる。さらに,トルエン中に溶解したフラーレンの溶液を含むスピンコーティング条件の依存性を調べた。研究は,グラフェン被覆した銅は,フラーレンのロッド状自己集合体を得るための最良の能力を提供することを示した。グラフェン被覆した銅系では,棒の形状は回転速度には無関係である,自己組織化ロッドの長さは,回転速度の関数として減少のみがが,他の基板上では,小さい凝集体/高速で島状構造への低い速度で大きなロッド状自己集合からの転移である。銅上のグラフェン上のフラーレンロッドの安定な形成は,銅上のグラフェン波形,安定な核形成サイト,ロッドの成長が起こるとして,トルエンによる促進に起因している。フラーレンロッドのサイズを制御する系統的な方法でこの能力は,集積回路における潜在的な相互配線として棒を利用するための新しい道を提供する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *スピンコーティング ,  前処理 ,  *フラーレン ,  *自己集合 ,  高速度 ,  電解研磨 ,  回転数 ,  *銅 ,  島状構造 ,  グラフェン ,  自己組織化 ,  核形成 ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： 相互配線 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 自己組立 ,  フラーレン ,  グラフェン ,  銅 ,  相互接続

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： トルエン

タイトルに関連する用語 (5件)： フラーレン分子 ,  スピンコーティング ,  自己集合 ,  銅 ,  表面処理