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J-GLOBAL ID：201702259847077058   整理番号：17A1058070

凍結レーザ印刷液滴のレプリカ成形によるマイクロレンズ製作【Powered by NICT】

Microlens fabrication by replica molding of frozen laser-printed droplets

著者 (3件)： Surdo Salvatore (Nanophysics Department, Istituto Italiano di Tecnologia, Via Morego 30, 16163 Genova, Italy) ,  Diaspro Alberto (Nanophysics Department, Istituto Italiano di Tecnologia, Via Morego 30, 16163 Genova, Italy) ,  Duocastella Marti (Nanophysics Department, Istituto Italiano di Tecnologia, Via Morego 30, 16163 Genova, Italy)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 418  号： PB  ページ： 554-558  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,使用材料や基板に依存しないそれらの形状と大きさを制御したマイクロレンズの作製のためのレーザ誘起前方移動(LIFT)とレプリカ成形を相乗的に。著者等の方法は,水溶液の液滴を最初にLIFTにより基板上に印刷した多段階過程に基づいている。凍結段階に続いて,微小液滴は,ポリジメチルシロキサン(PDMS)モールドを製作するマスタとして使用されている。レプリカ成形段階は,任意の選択された基板上に,異なる硬化ポリマーを用いたマイクロレンズとマイクロレンズアレイの生成を可能にする。このようにして,提案手法では,LIFTの迅速な製作能力と生成した微小液滴のperfectively滑らかな表面品質を組み合わせた並列化と材料柔軟性の点でレプリカ成形を目的として開発した。異なる光硬化性高分子のマイクロレンズを発生させて,それらの光学的および形態学的特性を特性化することによりこの戦略を実証した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光架橋 ,  *液滴 ,  高分子 ,  多段階過程 ,  *凍結 ,  表面性状 ,  *マイクロレンズ ,  モルフォロジー ,  *レーザ ,  柔軟性 ,  キャラクタリゼーション ,  重合体 ,  *印刷
準シソーラス用語： マイクロレンズアレイ ,  微小液滴 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： マイクロレンズ作製 ,  レーザ誘起前方移動 ,  ソフトリソグラフィー ,  レプリカ成形

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 凍結 ,  レーザ ,  液滴 ,  レプリカ ,  マイクロレンズ ,  製作