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J-GLOBAL ID：201702259993398659   整理番号：17A0335448

SiベースTHz波検出器の性能に及ぼす赤外プラズモンの影響

The effect of infrared plasmon on the performance of Si-based THz detectors

著者 (7件)： ZHU He (Zhejiang Univ., Zhejiang, CHN) ,  XU Jintao (Zhejiang Univ., Zhejiang, CHN) ,  ZHU Jiaqi (Zhejiang Univ., Zhejiang, CHN) ,  WANG Miao (Zhejiang Univ., Zhejiang, CHN) ,  WU Huizhen (Zhejiang Univ., Zhejiang, CHN) ,  LI Ning (Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN) ,  DAI Ning (Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28  号： 1  ページ： 839-844  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： THz波検出器の性能に及ぼすプラズモン効果の影響を調べるため,Si基板上に背面照明THz波検出器及び上部照明THz波検出器の二種類のブロッキング不純物バンド(BIB)を開発した。Si:P吸収層のエピタクシー成長前にイオン注入により高電子密度を有する薄い底部接触層(100nm)を実現した。プラズモン効果はBIB THz波検出器の性能に影響した。BIB THz波検出器の高濃度添加はTHz照射の反射を高くし,背面照明BIB検出器の検出周波数を低減した。

シソーラス用語： *検出器 ,  赤外線 ,  *プラズモン ,  ウエハ【IC】 ,  バンド構造 ,  イオン注入 ,  テラヘルツ波 ,  *赤外検出器
準シソーラス用語： Si基板 ,  *THz波検出器 ,  テラヘルツ光 ,  不純物バンド

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  THz波検出器 ,  赤外 ,  プラズモン