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J-GLOBAL ID：201702260004334513   整理番号：17A0994919

第2相粒子の効果と蒸着したITO膜の特性に及ぼすITOターゲットの元素分布【Powered by NICT】

Effects of second-phase particles and elemental distributions of ITO targets on the properties of deposited ITO films

著者 (3件)： Mei Fangsheng (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Yuan Tiechui (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Li Ruidi (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 12  ページ： 8866-8872  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のオプトエレクトロニクスデバイスの透明電極の重要な材料として,均一な微細構造と均質な元素分布を持つITOターゲットは,工業生産における高品質ITO膜を得るために不可欠である。本論文では,結晶構造,シート抵抗と40nm,70nmおよび100nmの厚さのITO膜の透過率の差はそれぞれ5時間(ターゲットB)10H(ターゲットA)および1600°C(1580°Cで焼結した二ITOターゲットの間で研究した。混合酸中の40nmと70nmの厚さのITO膜の100nm厚さとエッチング特性のITO膜の表面形態,表面粗さ,膜の均一性がさらに論文で焦点を当てた。結果は,第二相粒子と元素の均一な分布を有し,標的Aはでなく,より小さな残留粒子を残してエッチされやすい結晶度の低いITO膜を得るために導電性であることを示した。解析に基づいて,焼結過程の変化は,電気的およびエッチング特性に大きな影響を及ぼすが,それは光学的性質にほとんど影響しなかった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 焼結 ,  透明電極 ,  導電性 ,  結晶構造 ,  *第二相 ,  光学的性質 ,  シート抵抗 ,  工業生産 ,  透過率 ,  結晶度
準シソーラス用語： 表面形態 ,  エッチング特性 ,  高品質 ,  光電子デバイス ,  *元素分布 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 第2相粒子 ,  元素分布 ,  結晶度 ,  残留粒子

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 第2相 ,  蒸着 ,  ITO膜 ,  ITO ,  ターゲット ,  元素分布