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J-GLOBAL ID：201702260064272781   整理番号：17A0212812

110GHzオンウェーハトランジスタ測定のための改良されたミリ波一般カスケードデエンベッディング法【Powered by NICT】

An Improved Millimeter-Wave General Cascade De-Embedding Method for 110 GHz On-Wafer Transistor Measurements

著者 (3件)： Lee Chie-In (Department of Electrical Engineering and Institute of Communications Engineering, National Sun Yat-sen University, Kaohsiung, Taiwan) ,  Lin Wei-Cheng (Department of Electrical Engineering, National Sun Yat-sen University, Kaohsiung, Taiwan) ,  Lin Yan-Ting (Department of Electrical Engineering, National Sun Yat-sen University, Kaohsiung, Taiwan)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 30  号： 1  ページ： 98-104  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,デバイスパラメータに対する寄生接地面とによるスタックの影響をミリ波周波数で調べ,さらに初めての110GHzまでの付加的な短いダミーを用いた改良された一般的なカスケード法により検討した。グランドインダクタンスはアダプタのための一般化された二ポート回路網を適用することにより,ミリ波領域まで正確に抽出され,決定されたグランドインダクタンス値は解析結果により検証した。一般化ブラックボックスモデルがミリ波周波数で考慮アダプタの分散効果を取るために利用されている。この修正法はミリ波範囲で周波数に依存しない固有要素を得,提示した手法を検証することができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： アダプタ ,  *EHF波 ,  ポート ,  周波数
準シソーラス用語： 回路網 ,  接地面 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (1件)： ミリ波