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J-GLOBAL ID：201702261058746600   整理番号：17A1462342

傾斜センサを例にした静的変位測定への応用のための非線形伝達特性をもつMOEMS変換器【Powered by NICT】

MOEMS transducer with a non-linear transfer characteristic for static displacement measurement applications on the example of an inclination sensor

著者 (8件)： Steiner H. (Center for Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Viktor Kaplan Str. 2, Wiener Neustadt, Austria) ,  Hortschitz W. (Center for Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Viktor Kaplan Str. 2, Wiener Neustadt, Austria) ,  Kainz A. (Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Gusshausstr. 27, Vienna, Austria) ,  Stifter M. (Center for Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Viktor Kaplan Str. 2, Wiener Neustadt, Austria) ,  Jachimowicz A. (Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Gusshausstr. 27, Vienna, Austria) ,  Schalko J. (Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Gusshausstr. 27, Vienna, Austria) ,  Keplinger F. (Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Gusshausstr. 27, Vienna, Austria) ,  Kohl F. (Center for Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Viktor Kaplan Str. 2, Wiener Neustadt, Austria)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 263  ページ： 727-732  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,良く定義された固有の非線形伝達特性をもつ微小光学電気機械システムトランスデューサと振動測定モードにおける静的および動的変位の定量化への影響を述べた。変換器の出力信号は二重複開口アレイにより調節されることを光束に比例する。これらのアレイの内の1つは固定ガラスカバー上に堆積した他の一つはシリコンマイクロエレクトロメカニカルチップの可動地震質量にエッチングした。非線形伝達特性は対三角形状開口長方形によって達成された。地震質量は,機械的起振機ユニットにより作動させ,出力信号の第一および第二高調波はロックイン増幅器で記録した。これらの高調波は,静的変位と地震質量の振動振幅の両方に関する情報を含んでいる。提示された方法は,概念実証装置を用いて試験した,最初の測定結果は,5.39nmの分解能を示すDC測定法と比べて精度が若干向上する3.67nmの静的変位分解能を示した。,傾斜センサを振動測定法分解能は少なくとも三倍向上したことを示すを用いて構築した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 分解能 ,  *変換器 ,  振動測定 ,  *傾斜計 ,  地震 ,  高調波 ,  *変位測定 ,  起振機 ,  電気機械 ,  振動振幅 ,  開口
準シソーラス用語： ロックイン増幅器 ,  出力信号 ,  *MOEMS ,  *伝達特性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MOEMS ,  静的変位 ,  非線形伝達特性 ,  分解能 ,  傾斜

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 傾斜センサ ,  変位測定 ,  応用 ,  非線形 ,  伝達特性 ,  MOEMS ,  変換器