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J-GLOBAL ID：201702261073469355   整理番号：17A0366284

組合せスパッタリングにより調製したBaTiO_3 xBaSnO_3薄膜の電気機械的性質【Powered by NICT】

Electromechanical properties of BaTiO₃-xBaSnO₃ thin films prepared via combinatorial sputtering

著者 (8件)： Cheng Hongbo (Key Laboratory for Liquid-Solid Structural Evolution and Processing of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Shandong University, Jinan 250061, China) ,  Cheng Hongbo (Suzhou Institute of Shandong University, Suzhou 215123, China) ,  Cheng Hongbo (Department of Mechanical Engineering, Kobe University, Kobe 657-8501, Japan) ,  Hida Hirotaka (Department of Mechanical Engineering, Kobe University, Kobe 657-8501, Japan) ,  Ouyang Jun (Key Laboratory for Liquid-Solid Structural Evolution and Processing of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Shandong University, Jinan 250061, China) ,  Ouyang Jun (Suzhou Institute of Shandong University, Suzhou 215123, China) ,  Ouyang Jun (National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899, United States) ,  Kanno Isaku (Department of Mechanical Engineering, Kobe University, Kobe 657-8501, Japan)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 1 PB  ページ： 1597-1601  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (1 x)BaTiO_3 xBaSnO_3(BT xBS,0≦x≦0.20)ペロブスカイト薄膜を,二重ターゲット組合せスパッタリング法を用いて一軸傾斜組成を持つPt/Ti/Si基板上に堆積した。これらの膜は高度に(101)配向し,それらの電気機械特性の強い組成依存性を示した。相対誘電定数の最大値は,xが約0.028 925であった,横方向圧電係数は31であり,また約1.5 1 9C/m~2でピークに達した。e_31値はエピタキシャルBaTiO_3薄膜のそれよりも高かった。著者らの結果は,BT xBSは圧電MEMSデバイスにおける応用のための鉛ベースのペロブスカイトの有望な代替物であることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 圧電気 ,  白金 ,  誘電率 ,  *機械的性質 ,  MEMS ,  *チタン ,  一軸 ,  鉛 ,  *スパッタリング ,  エピタクシー ,  *薄膜
準シソーラス用語： 圧電定数 ,  組成依存性 ,  シリコンウエハ ,  組成傾斜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： BaTiO_3 ,  ドーピング ,  組合せ法 ,  マグネトロンスパッタリング ,  Si

分類 (3件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 組合せ ,  スパッタリング ,  調製 ,  薄膜 ,  機械的性質