文献

J-GLOBAL ID：201702261269959553   整理番号：17A0994633

直流マグネトロンスパッタリング(DCMS)による厚いα-Ta皮膜の作製と熱衝撃性能【Powered by NICT】

Preparation and thermal shock performance of thick α-Ta coatings by direct current magnetron sputtering (DCMS)

著者 (9件)： Niu Yunsong (Lab for Corrosion and Protection, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China) ,  Chen Minghui (Key Laboratory for Anisotropy and Texture of Materials (Ministry of Education), School of Material Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang 110819, China) ,  Wang Jinlong (Lab for Corrosion and Protection, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China) ,  Wang Jinlong (Key Laboratory for Anisotropy and Texture of Materials (Ministry of Education), School of Material Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang 110819, China) ,  Yang Lixin (Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, 72 Wenhua Road, Shenyang 110016, China) ,  Guo Cean (School of Equipment Engineering, Shenyang Ligong University, Shenyang 110159, China) ,  Zhu Shenglong (Lab for Corrosion and Protection, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China) ,  Wang Fuhui (Lab for Corrosion and Protection, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China) ,  Wang Fuhui (Key Laboratory for Anisotropy and Texture of Materials (Ministry of Education), School of Material Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang 110819, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 321  ページ： 19-25  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚いα-TaコーティングはDCMSプロセスによる30CrNi3MoV鋼上に作製した。試料はカソードとアノード間で負グロー空間,試料表面の温度は数分以内にβ→α変態ゾーンの温度を横断する加熱,電子の大きな運動学的効果と電気エネルギーで試料に影響を与えることによりするに位置していた。厚いα-Taコーティングは良好な耐熱衝撃性を示した。界面間の熱膨張(CTE)不整合の係数は熱サイクル中のTa被覆の大きな残留応力を引き起こし,コーティング損傷の主要因である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱サイクル ,  被覆 ,  界面 ,  *タンタル ,  鋼 ,  熱膨張 ,  *皮膜 ,  残留応力 ,  不整合 ,  *熱衝撃 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  耐熱衝撃性
準シソーラス用語： 電気エネルギー ,  *DCマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： α-Ta ,  マグネトロンスパッタリング ,  負グロー空間 ,  熱衝撃 ,  インタフェイス

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  腐食  (WB03030B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 直流マグネトロンスパッタリング ,  Ta ,  皮膜 ,  作製 ,  熱衝撃