応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
ウエハ【IC】 について
エピタクシー について
酸化ハフニウム について
絶縁膜 について
圧力 について
プラズマ曝露 について
パルスレーザ蒸着 について
薄膜成長 について
イットリウム について
ドーピング について
強誘電体 について
誘電体薄膜 について
不揮発性メモリ について
FeRAM について
誘電性 について
エキシマレーザ について
準安定相 について
発光スペクトル について
容量電圧特性 について
Si基板 について
常圧 について
酸化物薄膜 について
強誘電体,反強誘電体,強弾性 について
半導体集積回路 について
Si基板 について
エピタキシャル成長 について
HfO2 について
絶縁膜 について
常圧 について
プラズマ について
照射効果 について