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J-GLOBAL ID：201702263387512381   整理番号：17A1567891

高FOMと減少した作製複雑性を持つ2GHz以上のScAlNベースLCATモード共振器【Powered by NICT】

ScAlN-Based LCAT Mode Resonators Above 2 GHz With High FOM and Reduced Fabrication Complexity

著者 (6件)： Zhu Yao (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore) ,  Wang Nan (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore) ,  Chua Gengli (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore) ,  Sun Chengliang (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore) ,  Singh Navab (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore) ,  Gu Yuandong (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 38  号： 10  ページ： 1481-1484  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： は2GHz以上で動作する横方向に結合した交互厚さ(LCAT)モード共振器の新しいクラスの最初の実装,従来LCATモード共振器の底部交差指電極を置換する電気的フローティング板による実現を報告した。一マスクプロセスを節約し,小さな特徴を定義するための緊密な分解能とアラインメントの要求条件を緩和に加えて,平坦な非パターン化底部電極金属は高度に配向した圧電薄膜の成長,改良された共振器品質因子(Q)をもたらすにもより有利であった。トップ櫛形電極ピッチを変えることによって100MHz以上の周波数差で8%のスカンジウムをドープしたアルミニウム窒化物系修飾LCATモード共振器の群は製作した集積バンド選択フィルタバンクのための結合係数(k_eff~2)6.45%までと54までの性能を達成する,有望な候補にしている。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： フィルタバンク ,  パターン形成 ,  スカンジウム ,  結合係数 ,  ドーピング ,  分解能 ,  *共振器 ,  窒化アルミニウム ,  アラインメント ,  周波数
準シソーラス用語： 品質因子 ,  交差指電極 ,  *複雑性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (5件)： FOM ,  作製 ,  複雑性 ,  LCAT ,  共振器