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J-GLOBAL ID：201702264025488636   整理番号：17A1307285

10^-6に挑むハイバリア FILE 2) 有機触媒CVD法で作製されたアモルファスSiCN膜のX線反射率,X線光電子分光による膜密度,化学結合の評価

著者 (1件)： 財部健一 (岡山理大 理)
資料名： コンバーテック  (Convertech)
巻： 45  号： 10  ページ： 76-79  発行年： 2017年10月15日 
JST資料番号： Y0873A  ISSN： 0911-2316  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： WVTR(Water Vapor Transmission Rate)=10^-6のバリア性能に挑む有機触媒CVD(organic Cat-CVD)法で作製されたアモルファスSiCN膜のX線反射率,X線光電子分光による膜密度,化学結合等の評価について述べた。具体的には,まず,X線反射率(XRR)による膜の密度評価法について説明し,この評価法は非破壊で簡便,解析ソフトウェアもよく整備された手法であることを述べた。さらに,X線光電子分光(XPS)による化学結合評価法について説明し,膜中のC,N,Si原子のXPSスペクトルから各原子の化学結合状態,配位数,組成比を評価し,膜の化学結合の精密化を通して,O Cat-CVDで作製されたアモルファスSiCN膜の化学結合の全体像が明らかになることを示唆した。

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  *膜 ,  *ガスバリヤ性 ,  *プラスチックフィルム ,  化学蒸着 ,  触媒 ,  有機化合物 ,  *X線光電子分光法 ,  *X線反射 ,  *化学結合 ,  *電子密度
準シソーラス用語： CVD法 ,  *X線反射率法 ,  *アモルファス膜 ,  *ハイバリヤフィルム ,  密度計測 ,  有機触媒

分類 (3件)： 包装材料  (YH06030Q) ,  高分子固体の構造と形態学  (CG02022M) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

引用文献 (3件)：

• H. Nakayama and T. Hata: Thin Solid Films, 501, 190 (2006)、 本号の中山他の解説を参照
• 桜井健次: X線反射率ってなに? http://www.nims.go.jp/xray/xr/whats0.htm
• 表 和彦他: X線反射率による膜構造測定における不確かさ, 表面科学, 第27巻, 第11号, pp.642-648 (2006)

タイトルに関連する用語 (9件)： バリア ,  有機触媒 ,  CVD法 ,  作製 ,  X線反射率 ,  X線光電子分光 ,  密度 ,  化学結合 ,  評価