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J-GLOBAL ID：201702264085221999   整理番号：17A0753902

グラフェン析出成長法における酸化アルミニウムバリア層を用いた核発生制御

著者 (4件)： 成塚重弥 (名城大 理工) ,  山田純平 (名城大 大学院理工学研究科) ,  上田悠貴 (名城大 大学院理工学研究科) ,  丸山隆浩 (名城大 理工)
資料名： 名城大学総合研究所紀要  (Bulletin of Research Institute of Meijo University)
号： 22  ページ： 41-44  発行年： 2017年03月31日 
JST資料番号： L6402A  ISSN： 1344-8099  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・多層グラフェンの成長が可能な析出法を研究,拡散バリア層を用い,高い成長温度まで核を発生させないことが,成長核の密度を低下させるためにも重要と説明。
・実験は酸化アルミニウムバリア層の効果を調べるためのサンプルを電子ビーム蒸着法を用いて作製。
・触媒金属中への炭素の溶解とグラフェンの核発生の独立した最適制御が可能となり,多層グラフェンが高品質化。

シソーラス用語： *グラフェン ,  *析出 ,  *結晶成長 ,  *酸化アルミニウム ,  *層 ,  核形成 ,  電子ビーム蒸着 ,  改良
準シソーラス用語： *バリア層 ,  多層グラフェン ,  高品質化

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： グラフェン ,  析出 ,  成長 ,  酸化アルミニウム ,  バリア層