Department of Electrical Engineering, Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, Belgium について
Schaekers Marc について
imec, Leuven, Belgium について
Zhang Jian について
State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, China について
Wang Lin-Lin について
State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, China について
Everaert Jean-Luc について
imec, Leuven, Belgium について
Horiguchi Naoto について
imec, Leuven, Belgium について
Jiang Yu-Long について
State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, China について
Mocuta Dan について
imec, Leuven, Belgium について
Collaert Nadine について
imec, Leuven, Belgium について
De Meyer Kristin について
Department of Electrical Engineering, Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, Belgium について
IEEE Transactions on Electron Devices について
アモルファス化 について
非晶質 について
ドーピング について
同時蒸着 について
RTA【熱処理】 について
合金 について
ケイ化物 について
微結晶 について
低温 について
シリコンウエハ について
比接触抵抗 について
シリコンゲルマニウム について
トランジスタ について
SiGe について
接触抵抗率 について
低温 について
Ge について