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J-GLOBAL ID：201702264826356511   整理番号：17A0982490

位相シフト測定システムにおける不均一な表面反射率による位相誤差の解析と低減

Analysis and reduction of phase errors caused by nonuniform surface reflectivity in a phase-shifting measurement system

著者 (5件)： CHEN Songlin (China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  XIA Renbo (China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  ZHAO Jibin (China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  ZHANG Hongyao (China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  HU Maobang (China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 56  号： 3  ページ： 033102.1-033102.9  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *計測システム ,  *位相シフト ,  反射率 ,  誤差解析 ,  測定誤差 ,  光反射 ,  不均一性 ,  *光干渉法 ,  測定精度 ,  モードパターン ,  *画像分析 ,  干渉縞
準シソーラス用語： 位相誤差 ,  *干渉縞解析 ,  誤差低減 ,  表面反射

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 位相シフト ,  測定システム ,  表面反射率 ,  位相誤差 ,  解析