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J-GLOBAL ID：201702265591186846   整理番号：17A0955252

シリコンフォトニクス応用のための正確かつ任意の結合角を有するミラーベースの表面光入力/出力技術

Mirror-based surface optical input/output technology with precise and arbitrary coupling angle for silicon photonic application

著者 (8件)： NORIKI Akihiro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  NORIKI Akihiro (Photonics Electronics Technol. Res. Assoc. (PETRA), Ibaraki, JPN) ,  AMANO Takeru (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  AMANO Takeru (Photonics Electronics Technol. Res. Assoc. (PETRA), Ibaraki, JPN) ,  MORI Masahiko (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  MORI Masahiko (Photonics Electronics Technol. Res. Assoc. (PETRA), Ibaraki, JPN) ,  SAKAKIBARA Yoichi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SAKAKIBARA Yoichi (Photonics Electronics Technol. Res. Assoc. (PETRA), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 4S  ページ： 04CH04.1-04CH04.4  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ミラーベース表面光結合は,Siフォトニクスの光入力/出力のための魅力的な技術である。ミラーベース表面光結合の実用化のために,その結合角制御性を評価した。様々な角度のミラーをSi基板上の3×3μm角の単一モード酸化窒化シリコン光導波路に統合した。ミラーから出力される光ビームの近視野および遠視野パターンを測定して,ビーム特性と結合角度を評価した。ビーム特性を変える事なく20°以上の広範囲にわたり結合角度を制御する事ができ,グレーティングカプラを用いたのでは困難な完全垂直出力を実証できた。結合角度誤差は±1°未満であり,この値は付加的な結合損失を無視できるほどに十分小さい。結合角の波長依存性も評価し,1.26~1.36および1.52~1.62μmの広い波長範囲にわたって±0.5°未満であることを見いだした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *オプトエレクトロニクス ,  ケイ素 ,  *光結合器 ,  光導波路 ,  遠視野 ,  光子ビーム ,  波長依存性 ,  鏡
準シソーラス用語： *Siフォトニクス ,  光ビーム ,  ミラー

分類 (1件)： その他の光伝送素子  (BD06040S)

引用文献 (39件)：

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タイトルに関連する用語 (4件)： シリコンフォトニクス ,  応用 ,  結合角 ,  ミラー