文献

J-GLOBAL ID：201702265759887959   整理番号：17A1731247

AlN MEMSとCMOSチップの3次元不均一積分による自己修復狭帯域フィルタ【Powered by NICT】

Self-healing narrowband filters via 3D heterogeneous integration of AlN MEMS and CMOS chips

著者 (7件)： Calayir Enes (Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA) ,  Xu Jinglin (Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA) ,  Pileggi Larry (Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA) ,  Fedder Gary K. (Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA) ,  Merugu Srinivas (Institute of Microelectronics, Agency for Science and Technology (A*STAR), Singapore) ,  Singh Navab (Institute of Microelectronics, Agency for Science and Technology (A*STAR), Singapore) ,  Piazza Gianluca (Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlN MEMS CMRは高Qとk_t~2,および主にリソグラフィーにより設定できること中心周波数(f0)を提供する。も50Ωマッチング能力直接を有していた。これらの特性は,AlN CMR低挿入損失(IL)を持つ単一チップ上の多重周波数帯域フィルタを合成するための理想的な候補とする。しかし,その実用的実装は加工誘起変化によって妨げられている。この挑戦に取り組むために,高収率,自己治癒フィルタを構築するためにN名目上同一のサブフィルタのバンクからサブセットkはRF入力と出力での一連のCMOSスイッチを介して並列に選択された組み合わせであるような場合に,統計的要素選択(SES)法の使用を提案した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *帯域フィルタ ,  *MEMS ,  *CMOS ,  *窒化アルミニウム ,  スイッチ ,  挿入損 ,  リソグラフィー ,  部分集合 ,  *三次元 ,  マッチング ,  *フィルタ
準シソーラス用語： 多重周波数 ,  中心周波数 ,  *狭帯域フィルタ ,  *自己修復 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： ディジタルフィルタ  (NC04022Z) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： AlN ,  MEMS ,  CMOSチップ ,  3次元 ,  不均一 ,  積分 ,  自己修復 ,  狭帯域フィルタ