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J-GLOBAL ID：201702266198406548   整理番号：17A0079799

マグネトロンスパッタリングによる透明導電性チタン-ガリウム-亜鉛酸化物膜の構造,電気及び光学特性

Structural, electrical and optical properties of transparent conductive titanium-gallium-zinc oxide films by magnetron sputtering

著者 (8件)： Lu Zhou (College of Electronic Information Engineering, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Lu Zhou (Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Kang H. (College of Electronic Information Engineering, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Kang H. (Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Zhong Z. (College of Electronic Information Engineering, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Zhong Z. (Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Zhang T. (College of Electronic Information Engineering, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Zhang T. (Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 27  号： 12  ページ： 13271-13279  発行年： 2016年12月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波(RF)マグネトロンスパッタリングによって,透明半導体チタン-ガリウム-亜鉛酸化物(TiGa-ZnO)薄膜をガラス基板上に調製した。薄膜の粒子成長配向,構造,電気及び光学特性の高周波電力依存性をX線回折装置,紫外可視分光光度計及びHall効果測定システムによって調べた。実験結果から,全てのナノ結晶TiGa-ZnO薄膜が(002)面に優先配向を持つことが分る。高周波電力は,薄膜の結晶構造,電気及び光学特性に強く影響を与える。高周波電力が190Wである時,ガラス基板上に堆積した薄膜は,最適結晶品質及び光電子特性,即ち,最大平均粒子サイズ(83.1nm),最小格子歪み(6.287x10^-4),可視領域における最大平均透過率(84.62%),最低電気抵抗率(9.68×10^-4Ωcm)及び最大性能指数(6.173×10³Ω^-1cm^-1)を示す。薄膜の光学バンドギャップを外挿法によって評価し,それは,高周波電力の増加と共に最初増加し,次いで,減少することが観察された。その上,薄膜の屈折率,消衰係数,誘電率及び損失係数などの光学的パラメータを点別無制約最適化法によって求めた。屈折率の分散挙動も,Wemple-DiDomenico単一振動子理論を用いて解析した。Copyright 2016 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 酸化物 ,  薄膜 ,  チタン合金 ,  ガリウム合金 ,  亜鉛合金 ,  マグネトロンスパッタリング ,  構造特性 ,  *電気特性 ,  *光学的性質 ,  *透明導電膜 ,  X線回折 ,  光透過 ,  バンドギャップ ,  屈折率 ,  紫外可視吸収スペクトル ,  Hall効果 ,  結晶構造 ,  格子歪 ,  電気抵抗率 ,  誘電率
準シソーラス用語： 光学特性

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： マグネトロンスパッタリング ,  導電性 ,  チタン ,  ガリウム ,  亜鉛 ,  酸化物膜 ,  光学特性