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J-GLOBAL ID：201702266275271949   整理番号：17A1356878

初期条件に依存する蒸着アルミニウム層のパラメータの評価【Powered by NICT】

The evaluation of parameters of evaporated aluminium layers depending on initial conditions

著者 (3件)： Beshajova Ivana Pelikanova (Department of Electrotechnology, Czech Technical University in Prague, Faculty of Electrical Engineering, Prague, Czech Republic) ,  Molhanec Martin (Department of Electrotechnology, Czech Technical University in Prague, Faculty of Electrical Engineering, Prague, Czech Republic) ,  Dusek Karel (Department of Electrotechnology, Czech Technical University in Prague, Faculty of Electrical Engineering, Prague, Czech Republic)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ISSE  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜金属層の問題に焦点を当てた。薄膜蛇行形状アルミニウム層の真空蒸着で作製した試料を分析した。層の電気抵抗と厚さは測定したパラメータに含めた。源材料の体積,すなわち,アルミニウムワイヤの依存性におけるこれらのパラメータを評価した。一定量起源材料の繰り返し実験で測定された値のある分散を観察した。測定値のセットは,統計的方法,すなわちヒストグラムとShapiro-Wilk正規性検定によって処理した。層の特性に及ぼす蒸発プロセスの影響に関する情報を与えることができることを解析データからいくつかの興味深い事実を観測した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *アルミニウム ,  真空蒸着 ,  金属薄膜 ,  *初期条件 ,  蒸発 ,  薄膜 ,  統計的方法 ,  *蒸着 ,  蛇行 ,  ヒストグラム
準シソーラス用語： 正規性検定 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  有機化合物のルミネセンス  (BM08094A) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  統計力学一般,多体問題  (BA08010Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： 初期条件 ,  蒸着 ,  アルミニウム層 ,  パラメータ ,  評価