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J-GLOBAL ID：201702266695511760   整理番号：17A1786691

高温化学蒸着法による緻密な炭化タンタル皮膜の調製【JST・京大機械翻訳】

Preparation of high-density tantalum carbide coating by high-temperature chemical vapor deposition

著者 (6件)： Zhang Li (中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220) ,  Qi Haitao (中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220) ,  Xu Yongkuan (中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220) ,  Wang Lijie (中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220) ,  Shi Yuezeng (中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220) ,  Liu Jinxin (中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220)
資料名： Gongneng Cailiao  (Gongneng Cailiao)
巻： 48  号： 6  ページ： 6183-6186,6192  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2095A  ISSN： 1001-9731  CODEN： GOCAEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 高温化学蒸着法(CVD)を用いて、高純度高密度黒鉛基板の表面に炭化タンタル(TaC)コーティングを堆積した。TaCコーティングの表面品質に及ぼすガス化温度,ガス流量,および蒸着温度の影響を研究することによって,高温CVD法によって調製したTaCコーティングのプロセスパラメータを決定し,高密度のTaCコーティングを得た。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 表面性状 ,  ガス化 ,  グラファイト ,  *化学蒸着 ,  *炭化タンタル ,  プロセスパラメータ ,  *皮膜 ,  *高温 ,  被覆
準シソーラス用語： 蒸着温度 ,  ガス流量 ,  高密度 ,  高純度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： high-temperature CVD ,  TaC coating ,  conditions

分類 (5件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  燃料電池  (YB04040V) ,  押出成形  (YH04040N) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 化学蒸着法 ,  炭化タンタル ,  皮膜 ,  調製