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J-GLOBAL ID：201702266835032717   整理番号：17A1570332

集束電子ビーム誘起処理を用いて作製したナノ粒状複合材料における接触と線抵抗率【Powered by NICT】

Contact and line resistivity in nanogranular compound materials fabricated with focused electron beam induced processing

著者 (2件)： Koops H. W. P. (HaWilKo GmbH, Ernst Ludwig Stras&e 16, 64372 Ober-Ramstadt, Germany) ,  Rangelow I. W. (Department of Micro- and Nano-Electronic Systems (MNES), Institute of Micro and Nano-Electronics, Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IVNC  ページ： 100-101  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属化合物と高電力密度の電子ビームを用いて,新しいナノ粒状複合材料は遅い段階堆積プロセスにおけるnm精度で作製した。化合物材料の電気的特性を調べ,測定した抵抗率は金属接触,ナノワイヤを接続標準測定装置に用いられるに堆積した材料からの接触抵抗としてのみ説明できることを見出した。我々の実験では,抵抗率は観察されなかった,接触抵抗,接触ワイヤと堆積した化合物材料の重複領域に依存する。遅い作製方法は,集束電子ビーム誘起処理(FEBIP)による堆積を室温で行った,測定した。4点測定は,ナノワイヤの抵抗率が,線の接触抵抗金接触を明らかにしなかった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *複合材料 ,  電気的性質 ,  接触抵抗 ,  *電気抵抗率 ,  金属 ,  *集束 ,  金属線 ,  有機金属化合物 ,  ナノワイヤ ,  *電子ビーム ,  金 ,  計測器
準シソーラス用語： 高電力密度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 集束 ,  電子ビーム ,  誘起 ,  作製 ,  複合材料 ,  抵抗率