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J-GLOBAL ID：201702266865788926   整理番号：17A1415017

AlN薄膜圧電層によるマイクロマシン加工した正方形および円形の膜変換器の応答の検出とモデル化

Modeling and detecting response of micromachining square and circular membranes transducers based on AlN thin film piezoelectric layer

著者 (4件)： HERTH Etienne (Univ. de Franche Comte, Besancon, FRA) ,  VALBIN Laurie (ESIEE Paris, Noisy le Grand, FRA) ,  LARDET-VIEUDRIN Franck (Univ. de Franche Comte, Besancon, FRA) ,  ALGRE Emmanuelle (ESIEE Paris, Noisy le Grand, FRA)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 9  ページ： 3873-3880  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ドープシリコンと上部電極層の間に積層したスパッタ堆積AlN圧電薄膜を用いる,マイクロマシン加工した正方形および円形の膜の圧電作動装置が可能であることを実証した。正方形および円形のシリコン膜によるデバイスの特性評価ための実験装置を製作した。面外モードの特性評価は,1.5MHz以下の周波数帯のレーザドップラー振動計を用いて行い,インピーダンスメータと比較した。これらのマイクロ変換器を,測定共振周波数と有限要素シミュレーションによる結果と比較して検証した。それをMetlabを使用して実装した。そのモデルが実験結果を正確に予測することを示した。運動抵抗は,500mVの低信号電圧で測定して160kΩであった。空気中で操作するこれらのマイクロ変換器の異なるモードの品質係数(Q)を分析した。異なるモードで得た品質係数の値は,高品質係数を必要とする用途に対して大きな可能性があることを示した。本研究では,理論モデルの確認と共に,AlN薄膜で製作した反復可能で低コストの変換器を示した。大気中の音響器としての圧電マイクロ変換器の実証試験に成功した。

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  *薄膜 ,  *マイクロマシニング ,  正方形 ,  円形 ,  膜 ,  変換器 ,  係数 ,  モデリング
準シソーラス用語： *AlN ,  メンブレン ,  モデル化 ,  *圧電フィルム ,  品質係数

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (9件)： AlN ,  薄膜 ,  圧電 ,  マイクロマシン加工 ,  正方形 ,  円形 ,  変換器 ,  応答 ,  モデル化