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J-GLOBAL ID：201702267079706519   整理番号：17A0576951

研磨剤を用いない新規研磨法で得られたダイヤモンド基板表面の原子スケール評価

著者 (2件)： 久保田章亀 (熊本大 大学院先端科学研究部) ,  峠睦 (熊本大 先進マグネシウム国際研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.P16  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドは,次世代パワー半導体デバイス用基板や切削工具,超硬合金金型の代替型などの幅広い分野での応用が期待されているが,高硬度かつ化学的に安定なため,加工が非常に難しいことが知られている。われわれは,研磨剤(スラリー)を一切用いない,乾式環境下でのダイヤモンドの高能率・高精度加工法の開発を進めており,本報告では,提案加工法で得られたダイヤモンド表面の原子レベルでの評価結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *電子顕微鏡観察 ,  *X線光電子分光法 ,  *ダイヤモンド ,  *表面構造 ,  基板 ,  研磨剤 ,  長さ ,  ナノ構造 ,  研磨 ,  精密加工 ,  切削工具 ,  超硬合金 ,  スラリー
準シソーラス用語： 原子スケール

分類 (2件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (6件)：

• 田北隆浩ほか, 2013年度精密工学会春季大会学術講演会学術論文集, 215-216 (2013).
• 田北隆浩ほか, 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 pp.265-266 (2014).
• 久保田章亀ほか, 2015年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 pp.1065-1066 (2015).
• 久保田章亀ほか, 2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 pp.715-716 (2015).
• 久保田章亀ほか, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 pp.287-288 (2016).

タイトルに関連する用語 (6件)： 研磨剤 ,  研磨 ,  ダイヤモンド ,  基板表面 ,  原子スケール ,  評価