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J-GLOBAL ID：201702267487386496   整理番号：17A1810830

超臨界二酸化炭素流体を使用したメソポーラス有機ケイ酸塩薄膜の有機テンプレートの除去

Removal of organic template of mesoporous organosilicate thin films using supercritical carbon dioxide fluids

著者 (6件)： KONDOH Eiichi (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  SEGAWA Koki (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  WATANABE Mitsuhiro (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  JIN Lianhua (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  ZHANG Liping (IMEC, Leuven, BEL) ,  BAKLANOV Mikhail R. (North China Univ. Technol., Beijing, CHN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 7S2  ページ： 07KF02.1-07KF02.4  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *超臨界二酸化炭素 ,  *多孔性 ,  *有機ケイ素化合物 ,  *屈折率 ,  *FTIR分光法 ,  誘電体薄膜
準シソーラス用語： *メソポーラス ,  low-k膜

分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超臨界二酸化炭素 ,  流体 ,  メソポーラス ,  ケイ酸塩 ,  薄膜 ,  テンプレート