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J-GLOBAL ID：201702268216807069   整理番号：17A0565722

フィールドエミッタアレイの新しい応用技術~耐熱・耐放射線素子や光源応用に向けて~

著者 (1件)： 後藤康仁 (京都大学大学院工学研究科)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 60  号： 2  ページ： 55-63(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本解説では,フィールドエミッタアレイ(FEA)の新たな応用について紹介する。FEAの利点を熱陰極と比較して電界電子放出の理論に沿って説明する。FEAでは温度依存性が小さい,空間電荷の影響が通常は見られない。電界電子放出では温度を上げる必要がないので,材料の選択範囲が広がり,電力効率が高い。電子ビームのエネルギー幅が狭い。FEAの欠点は,エミッタ表面に高電圧を印加できる構造が必要なことと電流の安定性の欠如である。真空中の電子ビームは周囲の温度変化や放射により影響を受けないので,フィールドエミッタアレイは高温や低温,放射線環境での使用が期待される。FEAの最新の応用分野(耐放射線性能の高い画像センサ,イオン注入装置の電荷中和素子,照明素子の電子源など)を紹介する。

シソーラス用語： *アレイ ,  *利用 ,  *耐放射線性 ,  *耐熱性 ,  *電界放出 ,  電力効率 ,  高温 ,  低温 ,  *イメージセンサ ,  *照明 ,  電子源 ,  イオン注入
準シソーラス用語： *フィールドエミッタアレイ ,  画像センサ ,  電界電子放出

分類 (1件)： 電子源,イオン源  (BD02020U)

引用文献 (48件)：

• 1) C. A. Spindt, I. Brodie, L. Humphrey and E. L. Westerberg: J. Appl. Phys., 47 (1976) 5248.
• 2) M. Nagao: J. Vac. Soc. Jpn., 60 (2017) 47.
• 3) R. Meyer: Technical Digest of the 4^th Internatinal Vacuum Microelectronics Conference, Nagahama, Japan (1991) 6.
• 4) S. Itoh, M. Tanaka and T. Tonegawa: J. Vac. Sci. Technol. B, 22 (2004) 1362.
• 5) R. H. Fowler and L. Nordheim: Proc. Roy. Soc. London A, 119 (1928) 173.

タイトルに関連する用語 (3件)： フィールドエミッタアレイ ,  応用 ,  放射線