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J-GLOBAL ID：201702268265421866   整理番号：17A1087405

若手研究者の挑戦 第21回 ナノ精度コピーによる超高精度ミラーの量産化

著者 (1件)： 三村秀和 (東大)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 429  ページ： 134-138  発行年： 2017年09月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光学システム,光学機器を構成するためにはミラーは不可欠である。本稿では,最先端の加工精度の現状を報告し,1nmという原子で10個程度の精度まで表面の加工が可能であることを示した。しかし,高精度表面の生産の効率化,低コスト化には限界がある。それを解決するための,高精度の表面を量産可能な転写複製という手法として高精度電鋳法を紹介した。具体的な開発の目的として回転体ミラーの作製を目的に開発を進めた結果,作製されたミラーは,高次高調波だけでなく放射光施設SPring-8の軟X線やX線自由電子レーザSACLAのEUV光でも使用可能であることが明らかになっている。

シソーラス用語： *光学器械 ,  *測定精度 ,  *反射鏡 ,  精密加工 ,  *ナノメータ加工 ,  *電鋳 ,  X線反射 ,  転写 ,  光反射 ,  位相シフト ,  極端紫外線 ,  軟X線 ,  集光 ,  表面粗さ ,  回転楕円体 ,  X線ミラー ,  加工精度
準シソーラス用語： 工作精度 ,  *超高精度 ,  EUV ,  集光ミラー ,  回転楕円ミラー

分類 (3件)： 光の屈折,反射,分散,偏向,吸収,透過  (BD03020B) ,  その他の光学機器  (QF05060C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 研究 ,  コピー ,  ミラー ,  量産