文献

J-GLOBAL ID：201702268686569910   整理番号：17A0550501

酸素終端CVDダイヤモンド(001)微斜面における超音波処理効果

著者 (3件)： 川端直人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  毎田修 (大阪大 大学院工学研究科) ,  伊藤利道 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.16p-P3-13  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 端部 ,  *ダイヤモンド ,  *微斜面 ,  処理 ,  電子親和力 ,  電子放出材料 ,  二次電子放出 ,  プラズマCVD ,  *効果
準シソーラス用語： 酸素終端 ,  *CVDダイヤモンド ,  超音波処理 ,  MPCVD ,  *超音波照射効果

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 酸素終端 ,  CVDダイヤモンド ,  微斜面 ,  超音波処理