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J-GLOBAL ID：201702268914634835   整理番号：17A0386077

非冷却型微小ボロメータ応用のための,原子層堆積法による,ZnOとTiO₂とをデジタル合金化した薄膜サーミスタ

Digitally alloyed ZnO and TiO₂ thin film thermistors by atomic layer deposition for uncooled microbolometer applications

著者 (4件)： T. Tilkioglu Bilge (Institute of Materials Science and Nanotechnology, Bilkent University, 06800 Ankara, Turkey) ,  Bolat Sami (Department of Electrical and Electronics Engineering, National Nanotechnology Research Center, UNAM, Bilkent University, 06800 Ankara, Turkey) ,  Tanrikulu Mahmud Yusuf (Department of Electrical and Electronics Engineering, Adana Science and Technology University, 01180 Adana, Turkey) ,  Okyay Ali Kemal (Department of Electrical and Electronics Engineering, National Nanotechnology Research Center, UNAM, and Institute of Materials Science and Nanotechnology, Bilkent University, 06800 Ankara, Turkey)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35  号： 2  ページ： 021513-021513-4  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非冷却型微小ボロメータの能動材料として用いるため,原子層堆積法を通じてZnOとTiO₂とのデジタル合金化を実現した。堆積は200°Cで実施した。薄膜中のTi含有量が増すにつれ結晶度が低下することがわかった。-5.96%/Kという最大の抵抗温度係数(TCR)が12.2at%Tiの薄膜で得られ,TCRの値は15-22°Cの範囲で温度に依存しないことがわかった。したがって,低コストの微小ボロメータとして広い範囲の動作温度が可能である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ボロメータ ,  小型 ,  *化学蒸着 ,  *サーミスタ ,  蒸着膜 ,  *酸化亜鉛 ,  *酸化チタン ,  *固溶体 ,  結晶度 ,  *温度係数
準シソーラス用語： 超小型 ,  *原子層堆積 ,  *抵抗温度係数

分類 (1件)： 温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (10件)： 微小 ,  ボロメータ ,  応用 ,  原子層堆積法 ,  ZnO ,  TiO2 ,  デジタル ,  合金化 ,  薄膜 ,  サーミスタ