Nasr Esfahani Mohammad について
Department of Mechanical Engineering, Koc, University, Istanbul Turkey について
Leblebici Yusuf について
Microelectronic Systems Laboratory, EPFL, Lausanne, Switzerland について
Alaca B. Erdem について
Department of Mechanical Engineering, Surface Science and Technology Center, Koc, University, Istanbul Turkey について
IEEE Conference Proceedings について
結晶 について
ケイ素 について
一軸 について
MEMS について
残留応力 について
キャラクタリゼーション について
モデル について
機能素子 について
アラインメント について
電気機械 について
アクチュエータ について
ナノスケール について
静電アクチュエータ について
圧電抵抗 について
シリコンナノワイヤ について
固体デバイス製造技術一般 について
MEMS について
シリコンナノワイヤ について
圧電 について
抵抗特性 について