X線照射下におけるフィールドエミッタアレイの動作特性評価装置

後藤康仁; 辻博司; 長尾昌善; 秋吉優史; 高木郁二

文献

J-GLOBAL ID：201702269132526333 整理番号：17A1076192

X線照射下におけるフィールドエミッタアレイの動作特性評価装置

System for Evaluation of Electron Emission Properties of Field Emitter Arrays under X-ray Irradiation

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資料名：
巻： 60 号： 8 ページ： 328-333(J-STAGE) 発行年： 2017年
JST資料番号： G0194A ISSN： 1882-2398 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

東京電力福島第一原子力発電所の廃炉作業において,燃料デブリの取出し工程では極めて高い放射線環境下で長い時間にわたって観測できるカメラが必要となる。そのため,筆者らは耐放射線性に優れた小型の撮像素子を開発してきた。真空管方式の撮像管の電子銃部分を薄型のフィールドエミッタアレイ(FEA)で置換えた。このような撮像素子の先行研究では,耐放射線性についてはほとんど調べられてこなかったので,材料の見直しを行い,テルル化カドミウム(CdTe)を用いた素子を提案し,耐放射線性の評価を行いつつある。今回,FEAの特性評価を行う真空装置を電子線加速器に接続し,高エネルギーのX線を照射しながら電子源の動作特性を評価することのできる装置を試作したので報告する。FEAの動作に必要な1×10^-5Pa以下の圧力(加速器と接続して6×10^-6Pa)を実現するとともに,1kGh^-1以上の線量率のX線を照射できることが明らかになった。

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光電デバイス一般

引用文献 (21件)：

1) Y. Gotoh, H. Tsuji, M. Nagao, T. Masuzawa, Y. Neo, H. Mimura, T. Okamoto, M. Akiyoshi, N. Sato and I. Takagi: Technical Digest of the 29^th International Vacuum Nanoelectronics Conference, Vancouver, Canada, 2016, p. 20.
2) T. Masuzawa, Y. Neo, T. Okamoto, M. Nagao, Y. Gotoh, M. Akiyoshi, N. Sato, I. Takagi and H. Mimura: Technical Digest of the 29^th International Vacuum Nanoelectronics Conference, Vancouver, Canada, 2016, p. 115.
3) M. Nagao, Y. Gotoh, Y. Neo and H. Mimura: J. Vac. Sci. Technol. B, 34 (2016) 02G108.
4) T. Okamoto, T. Igari, Y. Gotoh, N. Sato, M. Akiyoshi and I. Takagi: Phys. Stat. Solidi C, 13 (2016) 635.
5) Y. Takiguchi, K. Osada, M. Nanba, K. Miyakawa, S. Okazaki, T. Yamagishi, K. Tanioka, M. Abe, N. Egami, M. Tanaka and S. Itoh: Institute for Engineers of Informatics, Communication, and Electronics, Transactions on Electronics, E85C (2002) 1916.

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