Cada M. について
Institute of Physics v. v. i., Academy of Sciences of the Czech Republic, Na Slovance 2, 182 21 Prague 8, Czech Republic について
Lundin D. について
Laboratoire de Physique des Gaz et des Plasmas-LPGP, UMR 8578, CNRS-Universite Paris-Sud, 91405 Orsay, France について
Hubicka Z. について
Institute of Physics v. v. i., Academy of Sciences of the Czech Republic, Na Slovance 2, 182 21 Prague 8, Czech Republic について
Journal of Applied Physics について
チタン について
マグネトロンスパッタリング について
プラズマパラメータ について
モデリング について
アルゴン について
酸素 について
混合気体 について
プラズマ密度 について
電子温度 について
Langmuir探針 について
電流 について
パルス放電 について
効率 について
波形 について
イオン化効率 について
電流波形 について
反応性マグネトロンスパッタリング について
放電電流 について
HiPIMS について
スパッタリング について
プラズマ診断 について
Ar について
O2 について
混合物 について
Ti について
反応性 について
高出力 について
インパルス について
マグネトロンスパッタリング について
プラズマパラメータ について
モデル について