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J-GLOBAL ID：201702269658687906   整理番号：17A0590375

Ar/O₂混合物中のTiの反応性高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにおけるプラズマパラメータの測定とモデルリング

Measurement and modeling of plasma parameters in reactive high-power impulse magnetron sputtering of Ti in Ar/O₂ mixtures

著者 (3件)： Cada M. (Institute of Physics v. v. i., Academy of Sciences of the Czech Republic, Na Slovance 2, 182 21 Prague 8, Czech Republic) ,  Lundin D. (Laboratoire de Physique des Gaz et des Plasmas-LPGP, UMR 8578, CNRS-Universite Paris-Sud, 91405 Orsay, France) ,  Hubicka Z. (Institute of Physics v. v. i., Academy of Sciences of the Czech Republic, Na Slovance 2, 182 21 Prague 8, Czech Republic)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 121  号： 17  ページ： 171913-171913-7  発行年： 2017年05月07日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *チタン ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *プラズマパラメータ ,  モデリング ,  *アルゴン ,  *酸素 ,  *混合気体 ,  プラズマ密度 ,  電子温度 ,  Langmuir探針 ,  電流 ,  パルス放電 ,  効率 ,  波形
準シソーラス用語： イオン化効率 ,  電流波形 ,  *反応性マグネトロンスパッタリング ,  放電電流 ,  *HiPIMS

分類 (2件)： スパッタリング  (BK16110U) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (10件)： Ar ,  O2 ,  混合物 ,  Ti ,  反応性 ,  高出力 ,  インパルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  プラズマパラメータ ,  モデル