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J-GLOBAL ID：201702269816401208   整理番号：17A1090511

マスク検査ファイを自動化用のパターンに基づく方法

A Pattern-Based Method to Automate Mask Inspection Files

著者 (7件)： KAMAL BAHARIN Ezni Aznida Binti (Silterra Malaysia Sdn Bhd, Kedah Darul Aman, MYS) ,  MUHSAIN Mohamad Fahmi Bin (Silterra Malaysia Sdn Bhd, Kedah Darul Aman, MYS) ,  IBRAHIM Muhamad Asraf Bin (Silterra Malaysia Sdn Bhd, Kedah Darul Aman, MYS) ,  AHMAD NOORHANI Ahmad Nurul Ihsan Bin (Silterra Malaysia Sdn Bhd, Kedah Darul Aman, MYS) ,  SWEIS Jason (Cadence Design Systems, Inc., CA, USA) ,  LAI Ya-Chieh (Cadence Design Systems, Inc., CA, USA) ,  HURAT Philippe (Cadence Design Systems, Inc., CA, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10145  号： Pt.2  ページ： 101452Q.1-101452Q.9  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 技術製品及びノードに基づいて作成されたディジタルライブラリーには測定すべきテストパターンが含まれている。本論文では,これらのデジタルライブラリが如何に生成され,利用されるかについて論じた。製造プロセスの最優先実行部分として,これはデータ準備サイクル時間を短縮し,さまざまな場所の命名と測定における手動/人為的エラーの量を最小限に抑え,誤ったCD位置のリスクを軽減し,全体で必要なマンパワーを低減する。パターンに基づく手法を用いたテープアウトに対して全ての層を自動的に測定するための自動システムを実現した。システムはマスクベンダーが直接利用可能な形式で測定データを出力する。

シソーラス用語： *検査 ,  *リソグラフィー ,  自動化 ,  計測 ,  型 ,  *データ ,  事例研究 ,  ライブラリ【計算機】
準シソーラス用語： *CDデータ ,  CDパターン ,  クリティカルディメンジョン ,  データライブラリ ,  *マスク検査

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (2件)： マスク検査 ,  自動化