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J-GLOBAL ID：201702270213236008   整理番号：17A1354997

CMOS互換プロセスで作製したシリコンベースのマイクロ熱電発電機【Powered by NICT】

Silicon-based micro thermoelectric generator fabricated by CMOS compatible process

著者 (1件)： Watanabe Takanobu (Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Shinjuku, Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IMFEDK  ページ： 22-23  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エネルギーハーベスタは,一兆個のセンサネットワーク社会を実現するためのキーデバイスとなっている。熱電発電機(TEG)は,Seebeck効果による熱エネルギーから半永久的電力を供給するために,究極のエネルギー収穫機として考えられている。シリコンナノワイヤ(Si NWs)の優れた熱電(TE)特性の最近の発見は,SiベースTEGへの道を開いた。本論文では,SiベースマイクロTEGの非常に簡単な装置アーキテクチャを提案した。CMOS互換プロセスにより作製することができ,TE電力密度は構造の小型化と統合することによってスケーラブルであることが分かった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電力 ,  計算機アーキテクチャ ,  センサネットワーク ,  *CMOS ,  熱起電力 ,  小型化 ,  ケイ素 ,  シリコンナノワイヤ ,  エネルギーハーベスティング ,  熱エネルギー ,  エネルギーハーベスタ ,  改変
準シソーラス用語： 電力密度 ,  *熱電発電機 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： エネルギー変換装置  (LC01020U) ,  熱電発電,熱電子発電  (NB03080V) ,  その他の発電  (NB03140M)

タイトルに関連する用語 (6件)： CMOS ,  プロセス ,  作製 ,  シリコン ,  マイクロ ,  熱電発電機