文献

J-GLOBAL ID：201702270687569487   整理番号：17A0381721

TPMS(タイヤ圧モニタリングシステム)の生産改良のための非SOIウエハ中にモノリシック集積した圧力+X/Z2軸加速複合センサ【Powered by NICT】

Pressure + X/Z two-axis acceleration composite sensors monolithically integrated in non-soi wafer for upgraded production of TPMS (tire pressure monitoring systems)

著者 (6件)： Wang Jiachou (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China) ,  Ni Zao (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China) ,  Zhou Jian (Autochip Co. Inc. Shenzhen 518057, China) ,  Shi Xuejun (Autochip Co. Inc. Shenzhen 518057, China) ,  Wan Tiejun (Autochip Co. Inc. Shenzhen 518057, China) ,  Li Xinxin (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1359-1362  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自動車TPMSの改良生産(タイヤ圧モニタリングシステム)用のモノリシック集積した圧力プラス二軸(X/Z)加速複合材料センサのための新しい低コストバッチ製造技術を報告した。新しく追加されたX軸加速度計は,四輪の各々を同定し,位置決め自動的に使用されている。非SOIウエハ上に単一ウエハ前面製造技術からの利点を受けて,センサはIC鋳造工場を1.9mm×1.9mm,低クロストーク干渉,低コストおよび適合プロセスの小チップサイズの利点を持っている。TPMSセンサの試験結果は,改良TPMS応用の要求に適合した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 位置決め ,  *センサ ,  干渉 ,  バッチ生産 ,  *タイヤ ,  生産技術 ,  自動車 ,  *監視装置 ,  鋳造工場 ,  二軸 ,  加速度計 ,  クロストーク ,  複合材料
準シソーラス用語： *モノリシック集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 走行装置  (QG03040V)

タイトルに関連する用語 (6件)： タイヤ圧 ,  モニタリングシステム ,  SOI ,  ウエハ ,  モノリシック集積 ,  加速