文献

J-GLOBAL ID：201702270831069574   整理番号：17A0569192

外乱オブザーバを用いた真空環境下での精密位置決めステージの安定化

Stabilization of the Precision Positioning Stage Working in the Vacuum Environment by Using the Disturbance Observer

著者 (2件)： MORITA Kazuhiro (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN) ,  WAKUI Shinji (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Proceedings of IIAE International Conference on Industrial Application Engineering (Web)  (Proceedings of IIAE International Conference on Industrial Application Engineering (Web))
巻： 4th  ページ： WEB ONLY  発行年： 2016年 
JST資料番号： U0991A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *システムオブザーバ ,  擾乱 ,  *位置決め ,  位置制御 ,  精度 ,  *真空 ,  位置決め装置 ,  電子ビーム ,  試験装置 ,  フィードバック制御 ,  PID動作 ,  PID制御 ,  X-Yステージ ,  *外乱オブザーバ ,  *精密位置決め
準シソーラス用語： 検査装置 ,  *真空状態

分類 (1件)： システム同定  (IA02040O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 外乱オブザーバ ,  真空 ,  環境 ,  精密位置決め ,  ステージ ,  安定化