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J-GLOBAL ID：201702271924235654   整理番号：17A1374946

高精度非球面ミラー用プローブ走査式表面形状計測装置-計測再現性の評価およびシステムエラーの校正法の検討-

著者 (3件)： 湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  小山貴久 (高輝度光科学研究セ) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M21  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 数メートル台の曲率半径や±5mrad以上の傾斜角分布をもつX線ナノ集光用の高精度非球面ミラーに対して1nmRMSの計測再現性を有する非接触プローブ走査型の形状計測装置の開発を目標とした。曲率半径7mの平凹シリンダミラーについて80mm長を0.1mm間隔で測定した結果,50回平均後,1.0nmRMSを下回る計測再現性を得た。傾斜角に応じて発生する高さシステムエラーについて校正法を検討した。(著者抄録)

シソーラス用語： *プロフィルメータ ,  *測定精度 ,  *非球面鏡 ,  *プローブ ,  *表面粗さ ,  *形状測定 ,  *再現性 ,  系統誤差 ,  半径 ,  傾斜角 ,  角分布 ,  ビーム集束 ,  *X線 ,  X線自由電子レーザ ,  放射光施設 ,  *非接触測定 ,  光プローブ
準シソーラス用語： 高精度 ,  走査プローブ ,  曲率半径 ,  X線集束 ,  SACLA【レーザ】 ,  測定再現性

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (3件)：

• H. Yumoto et al., Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. A 710 2-6 (2013).
• H. Yumoto et al., Rev. Sci. Instrum. 87 051905 (2016).
• 湯本博勝 et al., 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 E66

タイトルに関連する用語 (10件)： 非球面 ,  ミラー ,  プローブ ,  走査式 ,  形状計測装置 ,  計測 ,  再現性 ,  評価 ,  システムエラー ,  校正