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J-GLOBAL ID：201702272076787762   整理番号：17A1623904

超音波スプレー熱分解したZnO薄膜の高周波マグネトロンスパッタシード層特性の役割【Powered by NICT】

Role of the radio frequency magnetron sputtered seed layer properties on ultrasonic spray pyrolyzed ZnO thin films

著者 (6件)： Tomakin Murat (Department of Physics, Recep Tayyip Erdogan University, Rize 53100, Turkey) ,  Onuk Zuhal (Department of Materials Science and Engineering, University of Delaware, Newark, Delaware 19716, USA) ,  Rujisamphan Nopporn (Nanoscience and Nanotechnology Graduate Program, Faculty of Science, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Rujisamphan Nopporn (Theoretical and Computational Science Center (TaCS), Faculty of Science, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Shah Syed Ismat (Department of Materials Science and Engineering, University of Delaware, Newark, Delaware 19716, USA) ,  Shah Syed Ismat (Department of Physics and Astronomy, University of Delaware, Newark, Delaware 19716, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 642  ページ： 163-168  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,p-Si基板上に種々の酸素雰囲気下で高周波スパッタZnOナノカラム(ZnO(種子))上に蒸着した超音波スプレー熱分解したZnO薄膜(ZnO(USP))の構造と電気的性質を調べた。試料のX線回折データは,試料が強い(002)優先配向した六方晶構造を持つことを示した。25%および50%酸素雰囲気中でスパッタしたシード層上に作製したZnO(USP)試料の粒径は減少し,表面形態はnanopebblesであった。シード層上に作製したZnO試料は約380nmの鋭いと支配的な紫外発光を示した。n-ZnO(USP)/n-ZnO(種子)/p-Siヘテロ接合の電流-電圧特性は,シード層調製条件によって大きく影響された。後方ダイオード挙動は,高いドナー濃度,シード層は100%および75%アルゴン雰囲気中で調製したn-ZnO(USP)/n-ZnO(種子)/p-Siヘテロ接合で観察された。キャリア濃度値は,シード層を持つ膜,スパッタリング雰囲気中のより高い酸素含有量で得られた減少した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ダイオード ,  電気的性質 ,  ヘテロ接合 ,  優先配向 ,  *酸化亜鉛 ,  *HF【周波数】 ,  RFスパッタリング ,  *マグネトロンスパッタリング ,  キャリア密度 ,  発光 ,  X線回折 ,  六方晶系 ,  粒径
準シソーラス用語： 表面形態 ,  *シード層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ZnO ,  シード層 ,  超音波噴霧 ,  ヘテロ接合

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超音波スプレー熱分解 ,  ZnO薄膜 ,  高周波 ,  マグネトロンスパッタ ,  シード層 ,  役割