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J-GLOBAL ID：201702272164364426   整理番号：17A1801646

透明導電性アルミニウム酸化亜鉛薄膜の溶液合成のための急速熱アニーリング

Rapid Thermal Annealing for Solution Synthesis of Transparent Conducting Aluminum Zinc Oxide Thin Films

著者 (4件)： ULLAH Sana (Universita degli Studi di Roma “Tor Vergata”, Rome, ITA) ,  ULLAH Sana (Khwaja Fareed Univ. Engineering and Information Technol., Rahim Yar Khan, PAK) ,  DE MATTEIS Fabio (Universita degli Studi di Roma “Tor Vergata”, Rome, ITA) ,  DAVOLI Ivan (Universita degli Studi di Roma “Tor Vergata”, Rome, ITA)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 46  号： 11  ページ： 6609-6616  発行年： 2017年11月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,複雑な真空ベースのシステムの必要性を避け,オーブンまたはファーネスアニーリングに必要とされるより長い時間と比較して熱処理を比較的短時間の10分で済む,溶液合成によって得られたAZO薄膜を報告する。モル濃度が半分未満の溶液を使用し,薄い膜厚を用いても,同等の電気的および光学的特性を達成した。急速熱アニーリングは,フィルム表面を直接加熱し,緻密化と粒成長を促進した。これにより,管炉またはオーブン焼鈍を使用する際に通常必要とされる時間よりも,アニーリング時間を短縮することができた。RTAに対して制御された雰囲気を使用することで,汚染を低減し,キャリア濃度と移動性を高めることができた。これにより,特に可視領域において,高い透明性を有する低抵抗のコンパクトなフィルムが得られた。本研究により,アニール時間を短縮し,前駆体溶液中の酸化物源のモル濃度を半分以上低減することができた。

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  *酸化亜鉛 ,  *溶液成長 ,  *RTA【熱処理】 ,  電気的性質 ,  光学的性質 ,  キャリア密度 ,  性質
準シソーラス用語： *アルミ・ドープ酸化亜鉛 ,  移動性 ,  透明性

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体と絶縁体の電気伝導一般  (BM03041P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 導電性 ,  アルミニウム ,  酸化亜鉛薄膜 ,  溶液 ,  急速熱アニーリング