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J-GLOBAL ID：201702273268281612   整理番号：17A1007770

気流制御による清浄化技術 1)クリーンルームにおける気流制御技術の変遷

Historical transition on airflow control technology with cleanrooms

著者 (1件)： 諏訪好英 (芝浦工大)
資料名： 空気清浄  (コンタミネーションコントロール)
巻： 55  号： 2  ページ： 89-95  発行年： 2017年07月31日 
JST資料番号： G0779A  ISSN： 0023-5032  CODEN： KUSEBF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 気流制御技術の変遷と気流制御に関する理論について,実務経験に基づき解説した。気流制御試行錯誤の1980年代については,気流シミュレーション事例を紹介し,1980年から90年代においては,高清浄化と大型化の時代における,気流制御の理解不足による汚染不良増加事例を示し,1990年代後半ではこれまでの大型送風機による一方向流式から,FFU方式クリーンルームへの大変革を概観した。2000年代以降の局所清浄化の時代を迎えて,局所浄化の変遷も解説しつつ,コストダウンのための制御領域の局所化,及び,ミニエンパイロメント(SMIF,FOUP)の登場について,更に2010年代からの多様化時代へと変遷を紹介した。気流制御に関する理論では,気流制御の考え方や気流性能の評価について解説し,中でも吹出しと排気の影響についてその制御対象など具体的に紹介した。

シソーラス用語： 制御 ,  *クリーンルーム ,  *空気浄化 ,  空気濾過器 ,  *空調システム ,  原価低減 ,  室内空気汚染 ,  流動解析 ,  気流 ,  換気
準シソーラス用語： コストダウン ,  気流解析 ,  *気流制御 ,  *局所換気 ,  空気浄化装置 ,  *室内気流

分類 (4件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  換気  (PC02040B) ,  空気調和一般  (PC01000C) ,  空気調和装置一般  (PC02010U)

引用文献 (18件)：

• 諏訪好英 : クリーンルーム内の沈降微粒子の数値解析、 第7回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会、 日本空気清浄協会、 pp.1-10、 1989
• 諏訪好英 : クリーンルームの気流設計、 リアライズ社、 1998 5
• Guoping Xie and Yoshihide Suwa : Effect of Plenum Chamber Configuration on Airflow Uniformity in Uni-directional Flow Cleanrooms, J. of the IES, 37 (4), pp.21-27, 1995
• 空気清浄のコラム (掲載時期失念)
• 大見忠弘 : 21世紀の超LSI生産方式、 ウルトラクリーンテクノロジー、 10(1)、 pp.2-6、 1998

タイトルに関連する用語 (3件)： 気流制御 ,  清浄化 ,  クリーンルーム