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J-GLOBAL ID：201702273489664568   整理番号：17A0057823

3次元逐次統合内の高い幾つか相互接続安定性を保存する接合活性化のためのNsレーザアニーリング【Powered by NICT】

Ns laser annealing for junction activation preserving inter-tier interconnections stability within a 3D sequential integration

著者 (22件)： Fenouillet-Beranger C. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Acosta-Alba P. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Mathieu B. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Kerdiles S. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Samson M-P. (STMicroelectronics) ,  Previtali B. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Rambal N. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Lapras V. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Ibars F. (STMicroelectronics) ,  Roman A. (STMicroelectronics) ,  Kachtouli R. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Besson P. (STMicroelectronics) ,  Nieto J-P. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Pasini L. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Brunet L. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Aussenac F. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Hartmann J-M. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Mazzamuto F. (SCREEN-LASSE, France) ,  Toque-Tresonne I. (SCREEN-LASSE, France) ,  Huet K. (SCREEN-LASSE, France) ,  Batude P. (CEA, Leti, MINATEC Campus) ,  Vinet M. (CEA, Leti, MINATEC Campus)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： S3S  ページ： 1-2  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,接合活性化のためのナノ秒(ns)レーザアニーリングのエネルギープロセスウィンドウをいくつかのドーパント(As, P, BF2)について決定した。レーザエネルギー密度を調整するときに観察された異なる再結晶状態を数値シミュレーションにより説明した。これらの条件内で,ULK/銅間層相互接続の熱安定性に及ぼすレーザ衝撃は,形態学的および電気的観点から28nmノードのバックエンド金属1設計ルール技術を評価した。CoolCubeTM3D集積のためのnsレーザ焼なましの重要性を強調した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *レーザ ,  熱安定性 ,  *レーザアニーリング ,  エネルギー密度 ,  ナノ秒 ,  再結晶 ,  *三次元 ,  モルフォロジー ,  ドーパント ,  *相互接続 ,  数値シミュレーション ,  レーザ衝撃波
準シソーラス用語： 設計規則 ,  レーザ衝撃 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (9件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  システム工学一般  (IB01000S) ,  磁区・磁化過程一般  (BM06111M) ,  半導体-金属接触  (BM03084G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  ロケットエンジン  (PB02050J) ,  エネルギー貯蔵  (LC02000F) ,  その他の無機化合物の格子欠陥  (BK12050B) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 3次元 ,  逐次 ,  統合 ,  相互接続 ,  安定性 ,  保存 ,  活性化 ,  レーザアニーリング