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J-GLOBAL ID:201702273720994834   整理番号:17A1732388

薄い弾性多層膜の物理的パラメータを測定するための効率的な非接触法【Powered by NICT】

An efficient non-contact method for measuring physical parameters of thin elastic multilayers
著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: IUS  ページ: 1-4  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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空気結合超音波法を用いて薄い弾性層の物理的パラメータを測定する効率的な方法を提示した。法では,弾性薄層の表面密度は超音波信号の透過のみ非接触測定により近似した。銅箔と両側に炭素複合材料で被覆した銅箔は,提案した測定法を有効な実験的に使用されている。銅箔と炭素複合材で被覆した銅箔の測定された表面密度は約3%の許容誤差を持つことが分かった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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非破壊試験  ,  R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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