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J-GLOBAL ID：201702274049803122   整理番号：17A1163606

チップ3D Liイオン全固体マイクロ電池のための機能層の原子層堆積【Powered by NICT】

Atomic Layer Deposition of Functional Layers for on Chip 3D Li-Ion All Solid State Microbattery

著者 (21件)： Letiche Manon (Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Letiche Manon (Unite de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS), CNRS UMR 8181 - Universite Lille 1 Sciences et Technologies, 59655, Villeneuve d’Ascq Cedex, France) ,  Letiche Manon (Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France) ,  Eustache Etienne (Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Eustache Etienne (Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France) ,  Eustache Etienne (Institut des Materiaux Jean Rouxel, CNRS UMR 6502 - Universite de Nantes, 2 rue de la Houssiniere BP32229, 44322, Nantes cedex 3, France) ,  Freixas Jeremy (Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Freixas Jeremy (Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France) ,  Freixas Jeremy (Institut des Materiaux Jean Rouxel, CNRS UMR 6502 - Universite de Nantes, 2 rue de la Houssiniere BP32229, 44322, Nantes cedex 3, France) ,  Demortiere Arnaud (Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France) ,  Demortiere Arnaud (Laboratoire de Reactivite et de Chimie des Solides (LRCS), CNRS UMR 7314 - Universite de Picardie Jules Verne, 100 Rue St Leu, 80000, Amiens, France) ,  De Andrade Vincent (Argonne National Lab, Advanced Photon Sources Beam line, Bldg. 401/Rm A4115, Argonne National Laboratory 9700 S. Cass Ave. Argonne, IL, 60439, USA) ,  Morgenroth Laurence (Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Tilmant Pascal (Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Vaurette Francois (Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Troadec David (Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Roussel Pascal (Unite de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS), CNRS UMR 8181 - Universite Lille 1 Sciences et Technologies, 59655, Villeneuve d’Ascq Cedex, France) ,  Brousse Thierry (Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France) ,  Brousse Thierry (Institut des Materiaux Jean Rouxel, CNRS UMR 6502 - Universite de Nantes, 2 rue de la Houssiniere BP32229, 44322, Nantes cedex 3, France) ,  Lethien Christophe (Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Lethien Christophe (Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France)
資料名： Advanced Energy Materials  (Advanced Energy Materials)
巻： 7  号： 2  ページ： ROMBUNNO.201601402  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2778A  ISSN： 1614-6832  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 今日,ミリメートルスケールの電源は,スマート,連結,および小型化センサへの自律性を実現する上で重要な装置である。しかし,これまで,平面固体マイクロ電池は十分な表面エネルギー密度を示すはない。に関連して,構造化3Dマイクロ電池はフットプリント面積は小さいながら,材料質量負荷を改善するためのよき解であると思われる。3D microbaterryの設計自体に加えて,アドレスする一つの重要な技術的障壁は3D構造上の薄膜(リチオ化)の共形蒸着である。この目的のために,原子層堆積(A LD)技術は,複雑な基板上の薄膜の共形コーティングを可能にする強力な技術である。元,ロバスト,高効率3D足場は小型化した3Dマイクロ電池の幾何学的表面を顕著に改善することを提案した。3Dリチウムイオンマイクロ電池積層を構成する四の機能層を単一または二重マイクロチューブ3Dテンプレート上に堆積することに成功した。深さで用いて,各層の間の界面を調べたシンクロトロンX線ナノトモグラフィーと高角度環状暗視野透過型電子顕微鏡分析。初めて,A LDを用いて,アナターゼTiO_2負極は,電解質としてLi_3PO_4リン酸リチウムを用いた3D管に被覆した全固体3Dマイクロ電池への道を開くものである。表面容量は3D薄膜(105倍高い)0.37mAhg cm~ 2まで提案したトポロジー(高表面積拡大因子「厚い」3D層)により増加し,平面層の3.5μAhcm cm~ 2からである。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 薄膜 ,  ロバスト性 ,  エネルギー密度 ,  *三次元 ,  小型化 ,  位相幾何学 ,  構造形成 ,  界面 ,  蒸着 ,  センサ ,  固体電解質 ,  透過型電子顕微鏡 ,  被覆
準シソーラス用語： リチウムイオン ,  *ボタン電池 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 3Dマイクロ電池 ,  原子層堆積 ,  二重マイクロチューブ ,  高面積容量 ,  固体電解質

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 3D ,  Li ,  イオン ,  全固体 ,  マイクロ電池 ,  機能層 ,  原子層堆積