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J-GLOBAL ID：201702274118592265   整理番号：17A1694139

電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出

Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using Electron Beam Lithography and Low-Concentration Antibody Detection

著者 (8件)： 田代朋也 (群馬大) ,  大嶋駆 (群馬大) ,  櫻井裕也 (群馬大) ,  ZHANG Hui (群馬大) ,  鈴木孝明 (群馬大) ,  大嶋紀安 (群馬大) ,  和泉孝志 (群馬大) ,  曾根逸人 (群馬大)
資料名： 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： BMS-17  号： 47-56  ページ： 11-16  発行年： 2017年10月04日 
JST資料番号： L6187A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電子ビームリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： *電子線リソグラフィー

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分類 (1件)： 生物物理的研究法  (EA03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子線リソグラフィ ,  Si ,  作製 ,  低濃度 ,  抗体