抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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過去において,ほとんどのBAWとFBARフィルタは150mmウエハ上に作製した。150mmウエハ上に典型的な収率は>90%[1],[2]。ここ数年,製造のコストを低減するために最もフィルタメーカーは200mmウエハへの移動を開始した。残念なことに,結合係数(kt^2)[3],[4],[5]の変化に起因して,200mmウエハ上に収率は150mmウエハよりも有意に低かった。圧電材料における応力は,結合係数を変化させる[6]ことが最大の変数である。図1。はは,結合係数が圧電窒化アルミニウム(AlN)とモリブデン(Mo)電極を用いたデバイスのための応力とともに変化する。フィルタを作る際に関与する正確な処理に依存して,同じAlN蒸着プロセスがウエハを横断しての完全に異なるstress/kt^2変化を発生させる。図2は,ウエハを横切る差結合係数変化を説明し,タングステン(W)対Mo電極材料を用いたすべて他の同じ脱離であった。200mmウエハ上の異なる処理をした最良の結合係数を得ることができるためには,ウエハを横断しての膜応力の独立した制御を持つことが重要である。本論文では,ターゲットの+/ 1%以下(全範囲)内のウエハ上の結合係数を制御する方法を実証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】