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J-GLOBAL ID：201702275169726890   整理番号：17A1172602

UV-NILベース二層リフトオフプロセスを用いた溶融シリカ上のプラズモン共鳴SERS構造のための高周期Auナノディスクアレイ【Powered by NICT】

Highly periodic Au nano-disc arrays for plasmon-resonant SERS structures on fused silica using UV-NIL based double-layer lift-off process

著者 (4件)： Barnett J. (AMO GmbH, Otto-Blumenthal-Str. 25, 52074 Aachen, Germany) ,  Plachetka U. (AMO GmbH, Otto-Blumenthal-Str. 25, 52074 Aachen, Germany) ,  Nowak C. (AMO GmbH, Otto-Blumenthal-Str. 25, 52074 Aachen, Germany) ,  Wackerbarth H. (Laser-Laboratorium Gottingen e.V., Hans-Adolf-Krebs-Weg 1, 37077 Gottingen, Germany)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 172  ページ： 45-48  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なるタイプのAuナノ構造は,可視および近赤外の周波数範囲で強いプラスモンに関連した近接場増強と同様に生物学的に活性な界面の可能性に起因して表面増強Raman分光法(SERS)のための基板として広く採用されている。は十分に鋭いプラズモン共鳴による6′′ウエハスケールの領域に渡って非常に均一な周期アレイを生成するために二層リフトオフプロセスを用いたナノインプリントリソグラフィー(NIL)を用いたレーザ干渉リソグラフィー(LIL)の組合せによる高度に周期的なAuナノディスクの製造経路について報告した。Raman分光計で一般的に使用される785nmの波長で特異的に設計されたプラズモン活性を得るために行ったFDTDシミュレーション。得られた試料の光学特性はシミュレーション予測と比較して,SERS信号強度と再現性に関連していた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 表面増強Raman分光法 ,  *金 ,  *プラズモン ,  光学的性質 ,  ナノ構造 ,  近接場 ,  *石英ガラス ,  近赤外線 ,  有限差分時間領域法 ,  *プラズマ共鳴 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： *リフトオフ ,  *ナノディスク ,  ナノインプリントリソグラフィー ,  *二層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 表面増強Raman分光法 ,  プラズモニクス ,  Auナノディスク ,  ナノインプリントリソグラフィー ,  リフトオフ ,  爆発検出

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： NIL ,  二層 ,  リフトオフ ,  プロセス ,  溶融シリカ ,  プラズモン共鳴 ,  周期 ,  Au ,  ディスクアレイ