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J-GLOBAL ID：201702275309362678   整理番号：17A1390697

ガラスのレーザ加工 ガラス内部のマイクロ・ナノスケールでのレーザ加工

著者 (1件)： 下間靖彦 (京大 大学院工学研究科)
資料名： レーザ協会誌  (LASER)
巻： 42  号： 1  ページ： 8-16  発行年： 2017年08月30日 
JST資料番号： L4200A  ISSN： 0916-7277  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光源にフェムト秒レーザを用い,ガラスなどの透明材料の内部を空間選択的に加工することで,新機能性を発現できる。本報告では,フェムト秒レーザ光を用いた材料のレーザ加工法について紹介した。特に,ガラス内部において光誘起された構造やその機能性について報告した。フェムト秒レーザと材料との相互作用を説明した。次に,熱蓄積による化学的な相互作用を利用した方法や,光電場による物理的な相互作用を利用したガラスの内部加工法を述べた。フェムト秒レーザは,フォトンコストの面で問題があるが,レーザ光を多ビームに分割可能な空間光位相変調素子やデフォーマブルミラーなどを活用することで,レーザ加工の性能が向上する。

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  ナノ構造 ,  *ガラス ,  *マイクロマシニング ,  適応光学 ,  反射鏡 ,  フェムト秒レーザ ,  レーザビーム ,  位相変調 ,  相互作用 ,  透明材料 ,  蓄熱 ,  ナノスケール ,  形状可変ミラー
準シソーラス用語： デフォーマブルミラー

分類 (3件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z)

引用文献 (33件)：

• B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, M. D. Perry, ′′Laser-induced damage in dielectrics with nanosecond to subpicosecond pulses′′, Phys. Rev. Lett. 74 (12), 2248 (1995)
• A. H. Zewail, ′′Femtochemistry: Atomic-scale dynamics of the chemical bond using ultrafast lasers′′, Angew. Chem. Int. Ed. 39 (15), 2586 (2000)
• R. Itakura, K. Yamanouchi, T. Tanabe, T. Okamoto, F. Kannari, ′′Dissociative ionization of ethanol in chirped intense laser fields′′, J. Chem. Phys. 119 (8), 4179 (2003)
• H. Akagi, H. Ohba, K. Yokoyama, A. Yokoyama, K. Egashira, Y. Fujimura, ′′Rotational-coherence molecular laser isotope separation′′, Appl. Phys. B 95 (1), 17 (2009)
• W. Sibbett, A. A. Lagatsky, C. T. A. Brown, ′′The development and application of femtosecond laser systems′′, Opt. Express 20 (7), 6989 (2012)

タイトルに関連する用語 (4件)： ガラス ,  レーザ加工 ,  マイクロ ,  ナノスケール