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J-GLOBAL ID：201702275508669907   整理番号：17A0963993

偏光解析法による真空及び空気中の両方~28Si濃縮球の表面層解析【Powered by NICT】

Surface Layer Analysis of a ²⁸Si-Enriched Sphere Both in Vacuum and in Air by Ellipsometry

著者 (5件)： Fujita Kazuaki (National Metrology Institute of Japan/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan) ,  Kuramoto Naoki (National Metrology Institute of Japan/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan) ,  Azuma Yasushi (National Metrology Institute of Japan/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan) ,  Mizushima Shigeki (National Metrology Institute of Japan/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan) ,  Fujii Kenichi (National Metrology Institute of Japan/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan)
資料名： IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement  (IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement)
巻： 66  号： 6  ページ： 1283-1288  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0232A  ISSN： 0018-9456  CODEN： IEIMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： キログラムの新しい定義では,Si球の表面解析はX線結晶密度法によるアボガドロ定数の決定に必須である。本論文では,真空中および空気中におけるSi球の表面特性を調べるために,自動球回転システムを用いた真空チャンバーを持つ新しい分光エリプソメータを開発し,それを用いて~28Si濃縮球面上のSiO_2層の厚さは四層モデルに基づいて決定した。得られた酸化物層(OL)の厚さは,それらの不確実性の範囲内でX線光電子分光法によって得られたものと一致した。真空で決定したOL厚さ0.24nmによる空気中のそれよりも大きかった。この違いは四層モデルの成分の物理的特性を考慮することにより検討した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 球面 ,  *ケイ素 ,  X線光電子分光法 ,  表面性状 ,  *偏光解析法 ,  X線 ,  真空容器 ,  *空気 ,  結晶 ,  エリプソメータ ,  *表層 ,  不確実性 ,  酸化物層 ,  二層 ,  Avogadro定数

分類 (1件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 偏光解析法 ,  真空 ,  空気中 ,  濃縮 ,  表面層 ,  解析