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J-GLOBAL ID：201702275533169338   整理番号：17A1733002

人工神経回路網を用いたウエハ走査システムの適応故障低減【Powered by NICT】

Adaptive fault reduction of a wafer scanning system using artificial neural network

著者 (3件)： Athira K. H. (Dept. of Electronics and Communication Engineering, Mohandas College of Engineering and Technology, Thiruvananthapuram, India) ,  Prescilla K. (Dept. of Electronics and Communication Engineering, Mohandas College of Engineering and Technology, Thiruvananthapuram, India) ,  Aneesh R. P. (Dept. of Electronics and Communication Engineering, Regional Centre of IHRD, Thiruvananthapuram, India)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： SPICES  ページ： 1-8  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： リソグラフィーウエハスキャナまたはウエハ・ステッパは集積回路(IC)の製造に使用される機械である。大量ウエハスキャナ機械をシミュレートするために使用されているベースモデリングアプローチ。モデリングが実験を構築し,実施に費用と同様に多くの時間を消費する。,精密位置決め測定とウエハスキャナの設定実際の実施は困難なプロセスとなっている。ウエハ製造工程におけるデータ決定手法を用いた中である研究成果。本論文では,ウエハスキャナで所望のICパターンの軌道追跡誤差を最小化するための新しい手法を提案した。データ駆動法をモデルフリー環境を提供し,反復フィードバックチューニング(IFT)を測定記録と正確な制御器調整を可能にする。ANNにより,軌道追跡性能は改善されることが分かったと良好な機械性能のためのリソグラフィーウエハスキャナに適用することが可能である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 集積回路 ,  *ニューラルネットワーク ,  *故障 ,  ステッパ ,  *走査装置 ,  制御装置 ,  モデリング
準シソーラス用語： データ駆動 ,  軌道追跡 ,  ウエハー製造 ,  精密位置決め , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： ロボットの運動・制御  (IC04012J)

タイトルに関連する用語 (5件)： 人工神経回路網 ,  ウエハ ,  走査システム ,  適応 ,  故障