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J-GLOBAL ID：201702275815796564   整理番号：17A0443952

軟X線とEUV応用のための異なる遷移金属の光学的性質と耐酸化性【Powered by NICT】

Optical properties and oxidation resistance of different transition metals for soft X-ray and EUV applications

著者 (8件)： Mueller Robert (Friedrich-Schiller-Universitaet Jena, Institute of Applied Physics, Abbe School of Photonics, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, Germany) ,  Mueller Robert (Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany) ,  Yulin Sergiy (Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany) ,  Naujok Philipp (Friedrich-Schiller-Universitaet Jena, Institute of Applied Physics, Abbe School of Photonics, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, Germany) ,  Naujok Philipp (Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany) ,  Kaiser Norbert (Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany) ,  Tuennermann Andreas (Friedrich-Schiller-Universitaet Jena, Institute of Applied Physics, Abbe School of Photonics, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, Germany) ,  Tuennermann Andreas (Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 624  ページ： 1-6  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 軟X線および極端紫外(EUV)スペクトルにおけるすれすれ入射応用のために設計したRu,Mo,NbおよびPd被覆の比較研究の結果を提示した。コーティングの光学的性質と時間的安定性をCu-Kα放射を用いた13.5nmとすれすれ入射X線反射率測定(GIXR)でのEUV反射率測定を用いて調べた。NbとMoコーティングが,雰囲気大気反射率損失をもたらすで表面酸化への強い傾斜を示した。貴遷移金属としてのPd被覆を,一年間の期間にわたって最高の耐酸化性を示した。13.5nmで最高の反射特性はRu被覆によって達成された。時間依存表面酸化のGIXRシミュレーション結果は四か月の広いスペクトル範囲(5.0nm 40.0nm)の大気中での貯蔵後の研究した皮膜の反射特性を予測するために使用した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 極端紫外線 ,  被覆 ,  モリブデン ,  ルテニウム ,  *光学的性質 ,  反射率 ,  すれすれ入射 ,  時間依存性 ,  *耐酸化性 ,  パラジウム ,  *軟X線 ,  ニオブ
準シソーラス用語： 反射特性 ,  表面酸化 ,  反射率測定 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： すれすれ入射EUVミラー ,  EUV反射率 ,  X線反射率測定 ,  耐酸化性 ,  ルテニウム ,  モリブデン ,  パラジウム ,  ニオブ

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 軟X線 ,  EUV ,  応用 ,  遷移金属 ,  光学的性質 ,  耐酸化性